中科迪宏

设备参数

设备尺寸

9000*1200*2300mm

设备重量

2600kg

额定功率

12kw

工作电源

AC380v/220v

UPH

14000pcs/h

设备功能

适用范围：单多晶硅片尺寸157*157—230*230mm

缺陷项：厚度、线痕值、翘曲、弯曲、弧长、表面崩边、倒角崩边、脏污、色差、隐裂、穿孔、PN型、电阻率等

技术指标

漏检率<0.1%，过杀率<0.05%
碎片率<0.05%

设备优势

支持多种尺寸硅片快速换型

搭载中科迪宏自主研发的TimesAI深度学习开发平台大模型版，将工业AI大模型与检测模型结合，极大缩短模型和算法的迭代周期，快速完成设备部署，快速应对新的缺陷种类

直线下料分选机构采用基于伯努利原理的悬浮式高速硅片传输技术，大幅提升硅片分选速度

配套中科迪宏自主研发的AI数字工厂，将检测和分选结果集成，采用生产预测引擎计算出硅片良率走势，支撑生产管理决策